附带同轴落射变倍镜头,适合硅晶片,基盘等检查 可对应宽视野,高倍率等多样的工作
○记载数值为设计值。 ○关于分解能,根据波长550nm的理论分解能 ○景深假设1/2型CCD相机320TV线的分辨水平计算值(最少弥散圆40μm)
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